Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-03T09:44:14Z | |
| dc.date.available | 2020-01-03T09:44:14Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Чапланов, А. М. Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой / А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 351-352. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62218 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
