Show simple item record

dc.contributor.authorЧапланов, А. М.ru
dc.contributor.authorЩербакова, Е. Н.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2020-01-03T09:44:14Z
dc.date.available2020-01-03T09:44:14Z
dc.date.issued2019
dc.identifier.citationЧапланов, А. М. Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой / А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 351-352.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/62218
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleИсследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмойru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record