Электронное учебно-методическое пособие по учебной дисциплине "Технология и оборудование литографических процессов" для специальности 2-41 01 31 "Микроэлектроника"
Bibliographic entry
Лаврова, Л. К. Электронное учебно-методическое пособие по учебной дисциплине "Технология и оборудование литографических процессов" для специальности 2-41 01 31 "Микроэлектроника" [Электронный ресурс] / Л. К. Лаврова ; Белорусский национальный технический университет, Филиал БНТУ "Минский государственный политехнический колледж". – Минск : БНТУ, 2019.
Abstract
Учебно-методическое пособие предназначено для самостоятельного и дистанционного изучения учебной дисциплины «Технология и оборудование литографических процессов» учащимися специальности 2-41 01 31 «Микроэлектроника». В учебно-методическом пособии представлен теоретический материал, а также материал, обеспечивающий контроль знаний для проведения самоконтроля и текущей аттестации.