| dc.contributor.author | Лаврова, Л. К. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-20T08:38:28Z | |
| dc.date.available | 2020-01-20T08:38:28Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Лаврова, Л. К. Электронное учебно-методическое пособие по учебной дисциплине "Технология и оборудование литографических процессов" для специальности 2-41 01 31 "Микроэлектроника" [Электронный ресурс] / Л. К. Лаврова ; Белорусский национальный технический университет, Филиал БНТУ "Минский государственный политехнический колледж". – Минск : БНТУ, 2019. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62871 | |
| dc.description.abstract | Учебно-методическое пособие предназначено для самостоятельного и дистанционного изучения учебной дисциплины «Технология и оборудование литографических процессов» учащимися специальности 2-41 01 31 «Микроэлектроника». В учебно-методическом пособии представлен теоретический материал, а также материал, обеспечивающий контроль знаний для проведения самоконтроля и текущей аттестации. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Электронное учебно-методическое пособие по учебной дисциплине "Технология и оборудование литографических процессов" для специальности 2-41 01 31 "Микроэлектроника" | ru |
| dc.type | Book | ru |
| dc.type | Learning Object | ru |
