Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников
Bibliographic entry
Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 40. – С. 159-162.