Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников
| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Ковалевич, Э. В. | ru |
| dc.contributor.author | Кулинич, И. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Примшиц, Д. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-21T06:50:23Z | |
| dc.date.available | 2020-01-21T06:50:23Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 40. – С. 159-162. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62892 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование процесса получения силицидов для катодов-мишеней вакуумных ионно-плазменных источников | ru |
| dc.type | Article | ru |
