Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам
Bibliographic entry
Ковалевский, В. Н. Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам / В. Н. Ковалевский, К. Б. Фигурин, Б. Л. Фигурин // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: В. И. Тимошпольский (гл. ред) [и др.]. – Минск : Вышэйшая школа, 2002. – Вып. 26. – С. 87-91.