Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам
| dc.contributor.author | Ковалевский, В. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Фигурин, К. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Фигурин, Б. Л. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-02-19T12:45:10Z | |
| dc.date.available | 2020-02-19T12:45:10Z | |
| dc.date.issued | 2002 | |
| dc.identifier.citation | Ковалевский, В. Н. Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам / В. Н. Ковалевский, К. Б. Фигурин, Б. Л. Фигурин // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: В. И. Тимошпольский (гл. ред) [и др.]. – Минск : Вышэйшая школа, 2002. – Вып. 26. – С. 87-91. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/67330 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Вышэйшая школа | ru |
| dc.title | Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам | ru |
| dc.type | Article | ru |
