Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов
Bibliographic entry
Соколова, К. Г. Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов / К. Г. Соколова, В. Я. Сунка, Е. В. Трафимова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов : по материалам Международной научно-технической конференции «Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии в машиностроении», 06-09 апреля 2010 года : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2012. – Вып. 26, т. 2. – С. 268-274.
Abstract
В данной работе приведены методики измерения компонент тензора удельного электросопротивления полупроводниковых толстых и тонких (микронных) образцов. Описана оптимизация минимума погрешности измерения в зависимости от геометрических размеров измерительных зондов, а также места расположения зондов на образцах.