Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов
| dc.contributor.author | Соколова, К. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Сунка, В. Я. | ru |
| dc.contributor.author | Трафимова, Е. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-02-28T10:06:04Z | |
| dc.date.available | 2020-02-28T10:06:04Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Соколова, К. Г. Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов / К. Г. Соколова, В. Я. Сунка, Е. В. Трафимова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов : по материалам Международной научно-технической конференции «Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии в машиностроении», 06-09 апреля 2010 года : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2012. – Вып. 26, т. 2. – С. 268-274. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/67953 | |
| dc.description.abstract | В данной работе приведены методики измерения компонент тензора удельного электросопротивления полупроводниковых толстых и тонких (микронных) образцов. Описана оптимизация минимума погрешности измерения в зависимости от геометрических размеров измерительных зондов, а также места расположения зондов на образцах. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Измерение тензора проводимости анизотропных полупроводниковых материалов | ru |
| dc.type | Article | ru |
