Вакуумная система для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий
Bibliographic entry
Шелег, В. В. Вакуумная система для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий / В. В. Шелег, Н. И. Жиркевич // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2009. – Вып. 24, т. 1. – С. 11-13.
Abstract
Приведено новое решение конструкции вакуумной системы для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий на основе Ti (и его соединений с азотом и углеродом) и тетраэдрического аморфного углерода.