| dc.contributor.author | Шелег, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Жиркевич, Н. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-03-18T07:49:09Z | |
| dc.date.available | 2020-03-18T07:49:09Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Шелег, В. В. Вакуумная система для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий / В. В. Шелег, Н. И. Жиркевич // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева. – Минск : БНТУ, 2009. – Вып. 24, т. 1. – С. 11-13. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/68644 | |
| dc.description.abstract | Приведено новое решение конструкции вакуумной системы для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий на основе Ti (и его соединений с азотом и углеродом) и тетраэдрического аморфного углерода. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Вакуумная система для нанесения комбинированных функциональных тонкопленочных покрытий | ru |
| dc.type | Article | ru |
