Двухстороннее нанесение тонкопленочной проводниковой структуры на подогретые подложки из ситалла методом магнетронного распыления с предварительной ионной очисткой
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2018Publisher
Bibliographic entry
Касперович, И. С. Двухстороннее нанесение тонкопленочной проводниковой структуры на подогретые подложки из ситалла методом магнетронного распыления с предварительной ионной очисткой / И. С. Касперович ; науч. рук. И. И. Вегера // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 29‒30 ноября 2018 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 131-134.