Двухстороннее нанесение тонкопленочной проводниковой структуры на подогретые подложки из ситалла методом магнетронного распыления с предварительной ионной очисткой
| dc.contributor.advisor | Вегера, И. И. | ru |
| dc.contributor.author | Касперович, И. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-03-27T07:31:32Z | |
| dc.date.available | 2020-03-27T07:31:32Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Касперович, И. С. Двухстороннее нанесение тонкопленочной проводниковой структуры на подогретые подложки из ситалла методом магнетронного распыления с предварительной ионной очисткой / И. С. Касперович ; науч. рук. И. И. Вегера // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 29‒30 ноября 2018 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 131-134. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/69206 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Двухстороннее нанесение тонкопленочной проводниковой структуры на подогретые подложки из ситалла методом магнетронного распыления с предварительной ионной очисткой | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
