Нанесение тонких пленок магнетронным распылением
Bibliographic entry
Янчик, А. Д. Нанесение тонких пленок магнетронным распылением / А. Д. Янчик ; науч. рук. В. В. Бабук // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 29‒30 ноября 2018 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 387-389.