Нанесение тонких пленок магнетронным распылением
| dc.contributor.advisor | Бабук, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Янчик, А. Д. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-03-27T07:35:58Z | |
| dc.date.available | 2020-03-27T07:35:58Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Янчик, А. Д. Нанесение тонких пленок магнетронным распылением / А. Д. Янчик ; науч. рук. В. В. Бабук // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 29‒30 ноября 2018 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 387-389. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/69299 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Нанесение тонких пленок магнетронным распылением | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
