МЭМС-актюаторы на основе пьезоэлектрических пленок
Bibliographic entry
Назарович, А. Д. МЭМС-актюаторы на основе пьезоэлектрических пленок / А. Д. Назарович, Т. А. Кузнецова, В. А. Лапицкая // Новые направления развития приборостроения : материалы 13-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 15−17 апреля 2020 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 171.