МЭМС-актюаторы на основе пьезоэлектрических пленок
dc.contributor.author | Назарович, А. Д. | ru |
dc.contributor.author | Кузнецова, Т. А. | ru |
dc.contributor.author | Лапицкая, В. А. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2020-06-24T11:33:02Z | |
dc.date.available | 2020-06-24T11:33:02Z | |
dc.date.issued | 2020 | |
dc.identifier.citation | Назарович, А. Д. МЭМС-актюаторы на основе пьезоэлектрических пленок / А. Д. Назарович, Т. А. Кузнецова, В. А. Лапицкая // Новые направления развития приборостроения : материалы 13-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 15−17 апреля 2020 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 171. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/74481 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | МЭМС-актюаторы на основе пьезоэлектрических пленок | ru |
dc.type | Working Paper | ru |