dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
dc.contributor.author | Белогуров, Е. А. | ru |
dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
dc.contributor.author | Хатько, В. В. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2014-06-02T07:29:42Z | |
dc.date.available | 2014-06-02T07:29:42Z | |
dc.date.issued | 2013 | |
dc.identifier.citation | Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование / О. Г. Реутская [и др.] // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal. – 2013. – № 2(7). – С. 47 - 51. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/7985 | |
dc.description.abstract | Разработаны конструкция и технология создания 4-сенсорной газовой микросистемы, изготавливаемой на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Методом конечных элементов проведено моделирование температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.subject | Пористый анодный оксид алюминия | ru |
dc.subject | Четырехсенсорная газовая система | ru |
dc.subject | Метод конечных элементов | ru |
dc.title | Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udc | 51-73 | ru |
dc.relation.journal | Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal. – 2013. – № 2(7). | ru |