Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем
Bibliographic entry
Колешко, В. М. Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем / В. М. Колешко, А. В. Гулай, Е. В. Полынкова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев (пред.). – Минск : БНТУ, 2005. – Т. 1, вып. 21 – С. 214-225.