Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем
dc.contributor.author | Колешко, В. М. | |
dc.contributor.author | Гулай, А. В. | |
dc.contributor.author | Полынкова, Е. В. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2020-11-11T08:22:38Z | |
dc.date.available | 2020-11-11T08:22:38Z | |
dc.date.issued | 2005 | |
dc.identifier.citation | Колешко, В. М. Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем / В. М. Колешко, А. В. Гулай, Е. В. Полынкова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев (пред.). – Минск : БНТУ, 2005. – Т. 1, вып. 21 – С. 214-225. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/81331 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем | ru |
dc.type | Article | ru |