Особенности формирования слоев in2o3 для высокочувствительных газовых сенсоров
Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Реутская, О. Г. Особенности формирования слоев in2o3 для высокочувствительных газовых сенсоров / О. Г. Реутская [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 266-267.