Особенности формирования слоев in2o3 для высокочувствительных газовых сенсоров
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Денисюк, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Куданович, О. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Мухуров, Н. И. | ru |
| dc.contributor.author | Лугин, В. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T08:18:34Z | |
| dc.date.available | 2021-02-09T08:18:34Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Реутская, О. Г. Особенности формирования слоев in2o3 для высокочувствительных газовых сенсоров / О. Г. Реутская [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 266-267. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/86813 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Особенности формирования слоев in2o3 для высокочувствительных газовых сенсоров | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
