Расчеты двойной последовательной диффузии примесей в производстве интегральных схем
Bibliographic entry
Бондарев, В. А. Расчеты двойной последовательной диффузии примесей в производстве интегральных схем / В. А. Бондарев // Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. Энергетика. – 2005. – № 1. – С. 84-88.
View/ Open
Collections
- № 1[14]