Расчеты двойной последовательной диффузии примесей в производстве интегральных схем

dc.contributor.author	Бондарев, В. А.
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2021-02-11T13:04:36Z
dc.date.available	2021-02-11T13:04:36Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Бондарев, В. А. Расчеты двойной последовательной диффузии примесей в производстве интегральных схем / В. А. Бондарев // Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. Энергетика. – 2005. – № 1. – С. 84-88.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/87169
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БНТУ	ru
dc.title	Расчеты двойной последовательной диффузии примесей в производстве интегральных схем	ru
dc.type	Article	ru