Варавко, С. С. Совершенствование технологии химико-механического полирования в производстве кремниевых пластин / С. С. Варавко // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 168.