Совершенствование технологии химико-механического полирования в производстве кремниевых пластин
| dc.contributor.author | Варавко, С. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2014-09-16T08:06:17Z | |
| dc.date.available | 2014-09-16T08:06:17Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Варавко, С. С. Совершенствование технологии химико-механического полирования в производстве кремниевых пластин / С. С. Варавко // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 168. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/9241 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Совершенствование технологии химико-механического полирования в производстве кремниевых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
