Шелухин, К. А. Изготовление микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографии / К. А. Шелухин, Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 201.