Изготовление микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографии
| dc.contributor.author | Шелухин, К. А. | ru |
| dc.contributor.author | Козлова, Т. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2014-09-18T08:19:44Z | |
| dc.date.available | 2014-09-18T08:19:44Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Шелухин, К. А. Изготовление микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографии / К. А. Шелухин, Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 7-й Международной студенческой научно-технической конференции, 23-25 апреля 2014 г. / редкол. О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2014. – С. 201. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/9308 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Изготовление микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
