Современное развитие нанотехнологий, как одного из приоритетных направлений современной науки, мнельзя представить без применения вакуумных устройств и технологий). Это связано с тем, что именно в вакууме можно сохранить рабочую поверхность «атомарно-чистой» в течение всего технологического процесса.

В докладе рассматривается эволюция сверхвысоковакуумных коммутационных устройств. Обосновывается выбор принципиальных деформационных схем и способ управления прогреваемых клапанов и затворов. Представлены результаты первичных экспериментов, подтверждающих работоспособность предлагаемых конструктивных решений.