Типы магнитов в магнетронных распылительных системах
Bibliographic entry
Желтко, В. А. Типы магнитов в магнетронных распылительных системах / В. А. Желтко ; науч. рук. О. И. Терещук // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 183-187.
Abstract
В статье описаны основыне типы магнетронных распылительных систем.