Типы магнитов в магнетронных распылительных системах
| dc.contributor.advisor | Терещук, О. И. | ru |
| dc.contributor.author | Желтко, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-07-16T11:34:11Z | |
| dc.date.available | 2021-07-16T11:34:11Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Желтко, В. А. Типы магнитов в магнетронных распылительных системах / В. А. Желтко ; науч. рук. О. И. Терещук // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 183-187. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/97498 | |
| dc.description.abstract | В статье описаны основыне типы магнетронных распылительных систем. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Типы магнитов в магнетронных распылительных системах | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
