Методы повышения коэффициента использования мишени при магнетронном распылении
Bibliographic entry
Ильин, В. С. Методы повышения коэффициента использования мишени при магнетронном распылении / В. С. Ильин ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 187-191.
Abstract
В данной статье показано, что при получении покрытий вакуумным магнетронным методом одной из основных проблем является низкий коэффициент использования материала (КИМ) мишени.