| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Ильин, В. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-07-16T11:34:11Z | |
| dc.date.available | 2021-07-16T11:34:11Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Ильин, В. С. Методы повышения коэффициента использования мишени при магнетронном распылении / В. С. Ильин ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 187-191. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/97499 | |
| dc.description.abstract | В данной статье показано, что при получении покрытий вакуумным магнетронным методом одной из основных проблем является низкий коэффициент использования материала (КИМ) мишени. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методы повышения коэффициента использования мишени при магнетронном распылении | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
