Критерий герметичности вакуумных камер установок ионного азотирования
Bibliographic entry
Кагало, В. Г. Критерий герметичности вакуумных камер установок ионного азотирования / В. Г. Кагало, А. Н. Корзун ; науч. рук. М. Н. Босяков // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 192-195.
Abstract
В вакуумной технике одним из главных критериев работоспособности установки является ее герметичность, величина натекания в откачиваемый объём. В данной статье рассматривается допустимая величина натекания в вакуумную камеру при процессе ионно-плазменного азотирования (ИПА).