| dc.contributor.advisor | Босяков, М. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Кагало, В. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Корзун, А. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-07-16T11:34:11Z | |
| dc.date.available | 2021-07-16T11:34:11Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Кагало, В. Г. Критерий герметичности вакуумных камер установок ионного азотирования / В. Г. Кагало, А. Н. Корзун ; науч. рук. М. Н. Босяков // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 2. – С. 192-195. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/97500 | |
| dc.description.abstract | В вакуумной технике одним из главных критериев работоспособности установки является ее герметичность, величина натекания в откачиваемый объём. В данной статье рассматривается допустимая величина натекания в вакуумную камеру при процессе ионно-плазменного азотирования (ИПА). | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Критерий герметичности вакуумных камер установок ионного азотирования | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
