Browsing 2023 by Author "Погадаев, В. А."
Now showing items 1-2 of 2
-
Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования мишени
Погадаев, В. А. (БНТУ, 2023)В данной статье авторы рассматривают изменение коэффициента использования мишени и скорости осаждения тонких пленок в зависимости от различных углов наклона магнетронной распылительной системы.2023-10-17 -
Магнетронное распыление
Погадаев, В. А. (БНТУ, 2023)В данной статье автор описывает общие сведения о магнетронном распылении, проблемы и пути их решения.2023-10-17