Browsing by Author "Францкевич, А. В."
Now showing items 1-14 of 14
-
Алмазоабразивный инструмент для обработки сверхтвёрдых материалов
Костюкевич, П. А.; Кузей, А. М.; Лебедев, В. Я.; Францкевич, А. В. (БНТУ, 2022)Алмазоабразивный инструмент для обработки сверхтвёрдых материалов / П. А. Костюкевич [и др.] // Перспективные направления развития технологии машиностроения и металлообработки. Технология – Оборудование – Инструмент – Качество : тезисы докладов 36-ой Международной научно-технической конференции в рамках международной специализированной выставки «Машиностроение/Металлобработка–2022», ...2022-04-25 -
Влияние дозы и температуры имплантации на накопление водорода в дефектном слое монокристаллического кремния
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Шеденков, С. И. (БНТУ, 2018)Францкевич, Н. В. Влияние дозы и температуры имплантации на накопление водорода в дефектном слое монокристаллического кремния / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. – Минск : БНТУ, 2018. – Т. 3. – С. 429.2019-10-10 -
Влияние формы и размеров глубинного слоя SiO, сформированного в пластинах Cz-Si, на изменение спектральной зависимости фотоЭДС
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Шеденков, С. И. (2016)Францкевич, Н. В. Влияние формы и размеров глубинного слоя SiO, сформированного в пластинах Cz-Si, на изменение спектральной зависимости фотоЭДС / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 14-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2016. - Т. 3. - С. 426.2017-08-29 -
Геттерирование кислорода на захороненный дефектный слой, созданный имплантацией водорода
Францкевич, А. В.; Францкевич, Н. В.; Журавкевич, Е. В.; Федотов, А. К.; Мазаник, А. В.; Рау, Э. И.; Сеннов, Р. А. (Наука, 2004)Полученный способом Чохральского кремний, после имплантации водородом или гелием с энергией 100 кэВ и дозами (2-4) • 10^16 см^-2, обрабатывался в кислородной плазме постоянного разряда при температурах 250 или 500°С, а затем отжигался в вакууме в течение 4 ч при температурах 250 или 500°С. Методом масс-спектрометрии вторичных ионов обнаружено накопление кислорода на глубине ...2016-12-16 -
Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Мартинович, В. А. (БНТУ, 2021)Францкевич, Н. В. Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, В. А. Мартинович // Информационные технологии в технических и естественных науках [Электронный ресурс] : материалы Республиканской научно-практической конференции, 20 мая 2021 г. / редкол.: А. М. ...2021-12-07 -
Измерение электрофизических свойств кремния по времени жизни неравновесных носителей заряда
Францкевич, А. В.; Францкевич, Н. В. (БНТУ, 2017)Францкевич, А. В. Измерение электрофизических свойств кремния по времени жизни неравновесных носителей заряда / А. В. Францкевич, Н. В. Францкевич // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 15-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2017. - Т. 3. - С. 505.2018-06-29 -
Исследование поверхностных структур, образующихся на поверхности пластин монокристаллического кремния в результате предварительной имплантации водорода или гелия и последующей плазменной обработки
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Шеденков, С. И. (БНТУ, 2017)Францкевич, Н. В. Исследование поверхностных структур, образующихся на поверхности пластин монокристаллического кремния в результате предварительной имплантации водорода или гелия и последующей плазменной обработки / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, ...2018-02-06 -
Исследование сфераобразных наноструктур, сформированных в объеме пластин монокристаллического кремния
Францкевич, А. В.; Францкевич, Н. В.; Мартинович, В. А. (БНТУ, 2021)Основная идея представляемой работы – исследовать условия получения и свойства сфера образных наноструктур, формируемых в объеме пластин монокристаллического кремния. Стандартные пластины Cz-Si, n типа имплантировались ионами водорода при разных температурах и разными дозами. Формирование объемных наноструктур, происходило в результате обработки образцов в DC плазме водорода, при ...2022-02-02 -
Образование орто- и парамолекулы водорода в пластинах монокристаллического кремния, имплантированных протонами и обработанных в DC плазме водорода
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Шеденков, С. И. (БНТУ, 2015)Францкевич, Н. В. Образование орто- и парамолекулы водорода в пластинах монокристаллического кремния, имплантированных протонами и обработанных в DC плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 3. - С. 468.2016-05-03 -
Перспективы применения электрогидроударной установки, для диспергирования бурого угля, в процессе производства водоугольного топлива
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Юницкий, А. Э.; Арнаут, С. А. (БНТУ, 2021)В работе кратко рассмотрены основные причины, приводящие к необходимости разработки технологий топливо подготовки, позволяющих при сжигании углей, уменьшить экологический ущерб. Одна из возможных технологий, использование водоугольного топлива. Ключевой компонент данного вида топлива – мелкодисперсный уголь. Рассмотрена возможность применения для диспергирования угля, электрогидроударной ...2021-08-18 -
Формирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в кремнии
Францкевич, А. В. (БНТУ, 2010)Объектом исследования являются пластины кремния, содержащие глубинные слои и иные дефекты, сформированные посредством имплантации и последующего геттерирования на них примесей. Цель работы – разработка принципов формирования областей с особыми свойствами в пластинах кремния посредством имплантации водорода, гелия или аргона и последующей плазменной обработки. Основные методы ...2012-03-20 -
Формирование и исследование структуры Si\SixNy\Si
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Шеденков, С. И. (БНТУ, 2017)Францкевич, Н. В. Формирование и исследование структуры Si\SixNy\Si / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 204-206.2018-02-06 -
Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Шеденков, С. И. (БНТУ, 2009)Францкевич, Н. В. Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Седьмой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический ...2021-10-05 -
Экспериментальная установка для исследования датчика с упругоподвешенной подвижной массой
Оксенчук, И. Д.; Кривицкий, П. Г.; Францкевич, А. В. (БНТУ, 2017)Оксенчук, И. Д. Экспериментальная установка для исследования датчика с упругоподвешенной подвижной массой / И. Д. Оксенчук, П. Г. Кривицкий, А. В. Францкевич // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - ...2018-02-01